• Modeling and control of plasma-based surface treatment

• Systemdynamik und Reglerentwurf (WS)
• Mehrgrößensysteme und digitale Regelung (SS)
• Prozessautomatisierung (SS)
• Master-Seminar Moderne Methoden der Regelungstechnik (SS)
• Master-Praktikum Automatisierungstechnik (WS)
• Master-Projekt Systemtechnik (WS+SS)

2024:

• Data-driven stabilization of reactive sputter processes
  Darko Divkovic, Masterarbeit, in Bearbeitung.

2023:

• Anwendung einer Methode zur strukturellen Reduktion von Plasmanetzen
  Timo Habersang, Masterarbeit, März 2023.
• Identifikationsalgorithmus zur Bestimmung der Oberflächenparameter reaktiver Zerstäubungsprozesse
  Nora Lindner, Masterarbeit, März 2023.

2022:

• Beobachterkonzept für die Rekonstruktion des Substratzustandes reaktiver Zerstäubungsprozesse
  Fabian Schneider, Masterarbeit, Mai 2022.
• Kooperative Regelung von Linearmotoren
  DilaraSerif Oglu, Masterarbeit, Dezember 2022.
• Einrichtung und Modellierung eines Versuchsstandes zur Krängungsregelung
  Darko Divkovic, Bachelorarbeit, September 2022.

2017:

• Identifikation eines Plasmaniederdruckreaktors mittels Neuronaler Netze
  Sven Kockmann, Masterarbeit, März 2017.
• Erprobung eines Ansatzes zur linearen Regelung von reaktiven Zerstäubungsprozessen
  Engin Polat, Masterarbeit, Mai 2017.
• Stabilisierung reaktiver Sputterprozesse mittels einer multipolresonanz- und Lambdasonde
  Dirk Bockhorn, Masterarbeit, Oktober 2017.

2016:

• Identifikation und Parametrierung eines Präzisions-Massenflussreglers
  Sebastian Middeke, Bachelorarbeit, August 2016.

2015:

• Identifikation eines Vakuumsystems zur plasmagetriebenen Abscheidung von Dünnfilmen
  Hamza Bouroum, Bachelorarbeit, Oktober 2015.