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Fabian Schneider, M.Sc.
Wissenschaftlicher Mitarbeiter
 

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Überwachungsmethoden für plasmabasierte Oberflächenprozesse

2024:

  • Erweiterung einer Intervallbeobachter-Entwurfsmethode für reaktive Zerstäubungsprozesse
    Roman Bessel, Masterarbeit, in Bearbeitung.
  • Studierendenpreis 2022 der Ruhr-Universität Bochum für die herausragende wissenschaftliche Arbeit:
    "Beobachterkonzept für die Rekonstruktion des Substratzustandes reaktiver Zerstäubungsprozesse"
     
  • Best student Paper Award 2023 der IEEE Control Systems Society für den auf der 7th IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA) in Bridgetown, Barbados vorgestellten Beitrag:
    "Robust interval observer for substrate state estimation of nonlinear reactive sputter processes"